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硅是无机半导体产业的基础,随着有机功能材料的不断发展,有机无机复合材料在有机场效应晶体管,有机太阳能电池,有机发光二极管等领域迅速发展。基于此背景,研究并改善无机单晶硅片的浸润性对器件性能提升十分重要。通过改良RCA 方法,分别去除表面有机污染物及表面吸附金属离子,我们成功制备出具有超双亲性质的单晶硅片。