【摘 要】
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环境压力在0.1-10 Torr的中等压力等离子体(Meso-plasma)兼具低气压冷等离子体和大气压热等离子体的优点，即具有比较高的等离子体密度和较低气体温度下的高化学反应活性.因此，这种等离子体源有望提供一种新的等离子体材料处理手段1.随着环境压力的降低，电子与重粒子间的能量交换效率会显著降低，从而导致等离子体明显偏离局域热力学平衡状态.
【机 构】
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清华大学工程物理系,北京100084 华北理工大学机械工程学院,唐山063009
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环境压力在0.1-10 Torr的中等压力等离子体(Meso-plasma)兼具低气压冷等离子体和大气压热等离子体的优点，即具有比较高的等离子体密度和较低气体温度下的高化学反应活性.因此，这种等离子体源有望提供一种新的等离子体材料处理手段1.随着环境压力的降低，电子与重粒子间的能量交换效率会显著降低，从而导致等离子体明显偏离局域热力学平衡状态.
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