【摘 要】
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多弧离子镀超厚涂层长期具有沉积速率和涂层质量的限制,本文利用自主研制的大型Φ155型弧源高速多弧离子镀技术制备Cr/CrN多层超厚涂层.对Cr/CrN多层超厚涂层性能研究表明：与电镀硬铬超厚涂层相比,Cr/CrN涂层平整致密,涂层厚度可达42 μm；沉积速率较传统弧源提高2.6 ～4倍；对厚度比进行调整,摩擦系数由0.24降至0.19,显微硬度提升23.3％；增加轰击时间,超厚涂层膜基结合力在55
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,大连辽宁116024;大连纳晶科技有限公司,大连辽宁116630
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多弧离子镀超厚涂层长期具有沉积速率和涂层质量的限制,本文利用自主研制的大型Φ155型弧源高速多弧离子镀技术制备Cr/CrN多层超厚涂层.对Cr/CrN多层超厚涂层性能研究表明：与电镀硬铬超厚涂层相比,Cr/CrN涂层平整致密,涂层厚度可达42 μm；沉积速率较传统弧源提高2.6 ～4倍；对厚度比进行调整,摩擦系数由0.24降至0.19,显微硬度提升23.3％；增加轰击时间,超厚涂层膜基结合力在55 N左右,解决了造纸机筛鼓叶片工件服役时涂层硬度不足及剥落问题.多弧离子镀超厚涂层的成功制备,对于突破离子镀超厚涂层技术瓶颈以及大幅提高涂层的服役性能均具有重要意义.
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