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文章介绍了硅基压力传感器的基本参数、主要性能指标:电气性能、静态性能、稳定性、动态性能、温度影响、静压影响和环境性能.介绍了新国标的编制过程,主要性能指标及试验方法的确定,温度影响、静压影响的计算公式,给出了环境性能指标的试验条件、试验方法及合格标准.
硅基压力传感器性能指标及新国标简介
【摘 要】
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文章介绍了硅基压力传感器的基本参数、主要性能指标:电气性能、静态性能、稳定性、动态性能、温度影响、静压影响和环境性能.介绍了新国标的编制过程,主要性能指标及试验方法的确定,温度影响、静压影响的计算公式,给出了环境性能指标的试验条件、试验方法及合格标准.
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳110043 传感器国家工程研究中心,辽宁沈阳110043
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2012年6期
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