【摘 要】
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硅单晶生产企业需要从市场购买多晶硅作为原料。然而,使用购进的免洗多晶硅来拉制单晶时,由于熔体表面有浮渣,使得单晶断棱,成品率不高,必须自己重新酸洗才能用于拉晶。本文通过大量实验工作,发现由于一些多晶硅块上有裂纹和深缝,其中内藏的残酸难以漂洗干净,拉晶时残留酸会与石英坩埚壁起化学作用,使坩埚析晶,产生浮渣,是影响成晶的主要原因。建议多晶硅生产企业采用水淬法来破碎长硅棒,就可有效避免裂纹。同时也建议多
【机 构】
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硅单晶生产企业需要从市场购买多晶硅作为原料。然而,使用购进的免洗多晶硅来拉制单晶时,由于熔体表面有浮渣,使得单晶断棱,成品率不高,必须自己重新酸洗才能用于拉晶。本文通过大量实验工作,发现由于一些多晶硅块上有裂纹和深缝,其中内藏的残酸难以漂洗干净,拉晶时残留酸会与石英坩埚壁起化学作用,使坩埚析晶,产生浮渣,是影响成晶的主要原因。
建议多晶硅生产企业采用水淬法来破碎长硅棒,就可有效避免裂纹。同时也建议多晶硅生产企业力求避免生产出菜花状的多晶或结构酥松的多晶。也能有效避免硅多晶体内存在的深缝、微孔以及外表面为深灰色、无定形硅层厚的多晶硅,因为这些都会严重影响拉单晶的成品率。此外,最好采用5 kg装,双层厚塑料袋密封包装硅块,硅块表面应该保持光亮状态。
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