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钇掺杂对BST薄膜材料性能的影响
钇掺杂对BST薄膜材料性能的影响
来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaowen51
【摘 要】
:
用溶胶-凝胶工艺在Pt/SiO/Si及石英衬底上制备钇掺杂的BST薄膜,发现掺杂浓度与薄膜的材料特性存在强的相互关系,光学带隙能随着掺杂浓度的增加而增加,但它们小于不掺杂的样品
【作 者】
:
仇萍荪
田虎永
罗维根
何夕云
丁爱丽
【机 构】
:
中国科学院无机功能开放实验室(上海)
【出 处】
:
第四届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
钇掺杂
膜材料性能
掺杂浓度
薄膜
相互关系
石英衬底
凝胶工艺
介电常数
材料特性
高极化
带隙能
样品
溶胶
光学
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用溶胶-凝胶工艺在Pt/SiO<,2>/Si及石英衬底上制备钇掺杂的BST薄膜,发现掺杂浓度与薄膜的材料特性存在强的相互关系,光学带隙能随着掺杂浓度的增加而增加,但它们小于不掺杂的样品.随着掺杂浓度从1℅增加到10℅薄膜的介电常数从328减小到171.少量的钇掺杂将会提高极化值.
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