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在常规多晶扩散生产中，大多使用瓶装三氯氧磷间歇生产。随着生产的进行，三氯氧磷逐渐消耗，源瓶内液面下降，造成瓶内三氯氧磷饱和蒸汽压逐渐下降。在保持通八氮气总量不变情况下，气体携带的三氯氧磷分子逐渐减少，导致扩散后方阻变大，均匀性变差。
通过扩散工艺自动选择维持方阻稳定
【摘 要】
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在常规多晶扩散生产中，大多使用瓶装三氯氧磷间歇生产。随着生产的进行，三氯氧磷逐渐消耗，源瓶内液面下降，造成瓶内三氯氧磷饱和蒸汽压逐渐下降。在保持通八氮气总量不变情况下，气体携带的三氯氧磷分子逐渐减少，导致扩散后方阻变大，均匀性变差。
【机 构】
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洛阳尚德太阳能电力有限公司,中国
【出 处】
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SNEC 第九届(2015)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
【发表日期】
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2015年3期
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