【摘 要】
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本文对影响分子泵性能测试系统的超高真空测量的因素进行了分析,得出测试环境温 度波动及被测腔 体内温度 均匀性是影 响超高真空 测量结果准 确性的主 要因素.实 验结果表 明,当环境温度和电离规管温度波动小于 0.2℃时,测得的真空腔体内压力波动降低至 2×10-9 Pa,低于本底压力两个数量级,为分子泵的性能测试奠定基础.
【机 构】
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中国工程物理研究 机械制造工艺研究所,四川绵阳,621000
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本文对影响分子泵性能测试系统的超高真空测量的因素进行了分析,得出测试环境温 度波动及被测腔 体内温度 均匀性是影 响超高真空 测量结果准 确性的主 要因素.实 验结果表 明,当环境温度和电离规管温度波动小于 0.2℃时,测得的真空腔体内压力波动降低至 2×10-9 Pa,低于本底压力两个数量级,为分子泵的性能测试奠定基础.
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