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高真空、超高真空的获得和维持在科研生产中得到广泛应用，尤其在微型真空MEMS 器件生产制造中，真空获得及维持是决定产品质量的重要因素。对于一个真空腔体，其真空度的获得和维持状态主要取决于真空腔体的泄漏漏率、真空腔体自身的放气及真空泵抽气性能。本文主要介绍国际前沿的超灵敏度检漏、材料放气率测试及真空泵性能测试等技术的最新进展。