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小型化球面轮辐栅网的加工工艺
小型化球面轮辐栅网的加工工艺
来源 :中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xltmzzd
【摘 要】
:
小直径球面轮辐栅网采用光刻平面栅网-球面成型-电解抛光-热定型的工艺,解决了常规电火花用该工艺加工栅网难以实现的奇数等分、与小直径轮交接的辐条宽渐变、辐条较多等小型
【作 者】
:
吴亚琴
周培章
万遂人
【机 构】
:
东南大学电子系统可靠性研究中心 江苏 南京 210008 南京三乐电子信息产业集团有限公司 21O009
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会
【发表日期】
:
2009年期
【关键词】
:
小型化
球面
轮辐
栅网
小直径
脉冲行波管
加工问题
工艺加工
辐条
电解抛光
无毛刺
热定型
可靠性
电火花
栅控
奇数
平面
光刻
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小直径球面轮辐栅网采用光刻平面栅网-球面成型-电解抛光-热定型的工艺,解决了常规电火花用该工艺加工栅网难以实现的奇数等分、与小直径轮交接的辐条宽渐变、辐条较多等小型化栅网的加工问题,无毛刺,不易打火,显著提高了栅控脉冲行波管的可靠性。
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