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采用溶胶-凝胶法，以三氟乙酸、SnCl4为原料制备FTO溶胶，将制备的FTO溶胶采用超声喷雾热解法进行沉积镀膜。实验结果表明：对镀膜溶胶不同掺F的量进行性能分析，在F/Sn=30％～50％时薄膜可获得较好的光学性能及低的电阻；对不同的基板温度进行研究，在500～550℃时，薄膜结构为晶化充分的四方相多晶结构，薄膜表面致密无缺陷，方块电阻为30Ω/□。