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Si3N4薄膜的微观摩擦学特性研究

来源 :第九届全国摩擦学大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qwer32173

【作 者】

：

程广贵 丁建宁 范真 凌智勇 袁宁一 

【机 构】

：

微纳米科学技术研究中心江苏大学 镇江212013 微纳米科学技术研究中心江苏大学 镇江212013

【出 处】

：

第九届全国摩擦学大会

【发表日期】

：

2009年12期

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