【摘 要】
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本文采用Al、Cu、Fe三靶磁控共溅射的方法在Si(111)单晶基片上制备了Al-Cu-Fe薄膜，采用扫描电镜能谱仪和X射线衍射仪测试分析薄膜600℃退火前后的成分和组织，采用原子力显微镜分析了薄膜600℃退火前后的表面形貌和表面颗粒大小，通过纳米力学综合测试系统测试了Al-Cu-Fe薄膜600℃退火前后的硬度和弹性模量。结果表明：Al-Cu-Fe薄膜经过退火后形成了细小的β晶体相,表面形貌出现了
【机 构】
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上海工程技术大学,材料工程学院,上海,201620;上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200030
【出 处】
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二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛
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本文采用Al、Cu、Fe三靶磁控共溅射的方法在Si(111)单晶基片上制备了Al-Cu-Fe薄膜，采用扫描电镜能谱仪和X射线衍射仪测试分析薄膜600℃退火前后的成分和组织，采用原子力显微镜分析了薄膜600℃退火前后的表面形貌和表面颗粒大小，通过纳米力学综合测试系统测试了Al-Cu-Fe薄膜600℃退火前后的硬度和弹性模量。结果表明：Al-Cu-Fe薄膜经过退火后形成了细小的β晶体相,表面形貌出现了部分颗粒长大以及颗粒细小的β相析出形成，同时Al-Cu-Fe薄膜的硬度和弹性模量明显增加,这种特性与其退火过程中组织的转变有直接的关联。
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