论文部分内容阅读
开关阵列—相移器是由21-32个隔膜式开关组成.薄膜弹性是开关发生动作的必要条件,本文研究压控式RF MEMS开关阵列—相移器的可动薄膜性能.
压控式RF MEMS开关阵列—相移器可动薄膜的研究
【摘 要】
：
开关阵列—相移器是由21-32个隔膜式开关组成.薄膜弹性是开关发生动作的必要条件,本文研究压控式RF MEMS开关阵列—相移器的可动薄膜性能.
【机 构】
：
华东师范大学信息科学技术学院(上海);中国科学院上海冶金研究所传感技术联合开放实验室(上海)
【出 处】
：
第八届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
2002年8期
其他文献
本研究采用国际上通用的ATD法,累积暴露时间在3个月以上,测量装置经过标准氡室刻度,并与美国、日本、德国等同类探测器进行了比对,以保证测量结果的准确性和可靠性.
为了鉴别击中搭载种子的空间重离子,一种固体核径迹探测器(SSNTD)CR-39被用作"三明治"式探测系统的一部分,通过测量离子在CR-39中的剩余射程R和蚀刻率V,就可得到斜率(dR/dV).
在固体核径迹探测器用于辐射测量中,辐射后的蚀刻技术是关键技术之一.为了提高CR-39探测器的灵敏度,研制了电化学蚀刻系统.电化学蚀刻系统由变频变压电源、变压器、蚀刻槽和
在自行研制出线阵CCD器件驱动与测试电路的基础上,利用Co-60γ辐射源,选取商用线阵器件,在不同的偏置状态下,开展了CCD总剂量效应的模拟试验,离线测量了辐射累积剂量对器件暗
实验结果显示紫外光辐照对核孔膜的蚀刻过程有着重要的影响,紫外辐照可以有效地增加聚碳酸酯(PC)离子径迹膜的径迹蚀刻速率,并且其径迹蚀刻速率和紫外光照时间呈线性增加的关
本文利用蒙特卡罗方法编制了计算固体径迹探测器探测效率的SSTND软件,从理论上分析了该组合叠层式探测器对快中子能谱的探测原理,计算了其探测效率,讨论了其应用范围.
为了适应辐射物理业务对微米级束流的需求,中国原子能研究院核物理所串列加速器实验室采用针孔技术建成重粒子微束装置.重粒子束流经过微米级(2.0×3.2μm)针孔,形成微米级束
大水金矿床位于青藏高原北部的西秦岭,行政区划上隶属于甘肃省南部甘南藏族自治州玛曲县管辖.金城矿作用受北西向区域断裂构造控制明显,并与石英二长岩岩浆活动直接有关,属于
ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,具有优异的压电、压敏、气敏以及光电性能,特别是c轴取向的ZnO薄膜.ZnO薄膜在表面声波(SAW)、太阳能电池等许多领域得到广泛应用,随着p型