用脉冲激光沉积法制备大面积YBCO超导薄膜

来源 :第六届全国超导电子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xixixi
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利用自行设计和研制的大面积基片加热装置,采用脉冲激光沉积方法,成功地在φ43mm的LaAlO<,3>衬底上制备出YBCO超导薄膜.薄膜的零电阻温度Tc<0>为90~92K;77K时临界电流密度Jc=1.2-2.66×10<6>A/cm<,2>.所研制的加热器恒温区面积大,可使用温度范围为室温-1000℃.可以预期,利用此加热装置可以制备出更大面积的、性能优良的YBCO超导薄膜.
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