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透明导电氧化物ZnO:Al(AZO)薄膜由于其性能优越、成本低廉的优点,已经引起了越来越多的关注。它在微电子、半导体以及能源行业中都有着非常广阔的应用前景。本文介绍了利用磁控溅射技术制备高性能应用于CIGS太阳能电池窗口层的AZO透明导电薄膜的方法,并系统的测试和表征了薄膜的性能。
应用于CIGS太阳能电池窗口层的透明导电氧化物AZO薄膜的制备与研究
【摘 要】
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透明导电氧化物ZnO:Al(AZO)薄膜由于其性能优越、成本低廉的优点,已经引起了越来越多的关注。它在微电子、半导体以及能源行业中都有着非常广阔的应用前景。本文介绍了利用磁
【发表日期】
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2009年期
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