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<正>Nb2O5是一种具有高折射率、化学稳定性和耐腐蚀性[1]的半导体材料,作为一个优秀的镀膜材料,它已被广泛应电致变色材料、光学系统、催化和气体传感器[2]。同时,Nb2O5也是一种具有多种晶体结构的氧化物,人们发现它存在TTNb2O5（六方）,T-Nb2O5（正交）,M-Nb2O5（四方）和H-Nb2O5（单斜）等晶体结构[3],这些结构可以通过加热得到。在这些结构中,TT-Nb2O5可以在较低的温度处理获得,而T-Nb2O5可以通过较高的温度处理获得。我们报告不同退火温度对Nb2O5薄膜的晶体结构、厚度和光学性质的影响。