【摘 要】
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介绍了SIEMENS公司的分布式控制系统在四氯化硅生产过程中的应用.阐述了系统的工艺流程、硬件配置、软件配置和控制系统完成的主要功能.
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介绍了SIEMENS公司的分布式控制系统在四氯化硅生产过程中的应用.阐述了系统的工艺流程、硬件配置、软件配置和控制系统完成的主要功能.
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