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硅压阻式压力传感器多采用平膜片力敏元件设计，由于硅高的弹性模量、轻的质量及采用三维微机械加工的集成电路工艺制作，因此可获得小尺度的膜片，有利于获得低量程下高的固有频率。本文报道了一种微型高频动态压力传感器的设计与制作。
一种微型高频动态压力传感器的设计与制作
【摘 要】
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硅压阻式压力传感器多采用平膜片力敏元件设计，由于硅高的弹性模量、轻的质量及采用三维微机械加工的集成电路工艺制作，因此可获得小尺度的膜片，有利于获得低量程下高的固有频率
【机 构】
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昆山双桥传感器测控技术有限公司；昆山；江苏；215325
【出 处】
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中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会
【发表日期】
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2008年期
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