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该文提出了一种用数字拟合算法来实现激光聚焦光信号，并在激光聚焦式微位移传感器中得到了验证，其算法是可行的。该算法在聚焦光信号用于伺服控制中具有较好的频率响应。
激光聚焦式微位移传感器数字伺服算法
【摘 要】
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该文提出了一种用数字拟合算法来实现激光聚焦光信号，并在激光聚焦式微位移传感器中得到了验证，其算法是可行的。该算法在聚焦光信号用于伺服控制中具有较好的频率响应。
【机 构】
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湖北工学院(湖北武汉)
【出 处】
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全国首届计算机辅助公差设计专题学术会议暨全国高校互换性与测量技术研究会2000年年会
【发表日期】
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2000年期
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