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近年来，激光干涉测量技术在科学研究和工业生产中得到了广泛应用，具有多轴测量能力的激光干涉仪是光刻机等超精密加工装备中的核心部件。多轴干涉镜组是激光干涉仪实现多轴测量的核心器件，其加工装配过程中导致的分光不平行，是激光干涉仪的重要误差源，因此对干涉镜组分光平行性进行检测具有十分重要的意义。
多轴镜组分光平行性检测技术研究
【摘 要】
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近年来，激光干涉测量技术在科学研究和工业生产中得到了广泛应用，具有多轴测量能力的激光干涉仪是光刻机等超精密加工装备中的核心部件。多轴干涉镜组是激光干涉仪实现多轴
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电工程仪器研究所黑龙江哈尔滨150080
【出 处】
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第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2018年8期
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