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基于聚合物PSQ材料，对波导光栅离面耦合器进行了研究。针对通常聚合物波导芯层与包层折射率著小，导致其作为离面耦合器耦合效率低的问题，在聚合物波导上添加高折射率的SiN上包层，可以提高耦合效率。对波导刻蚀深度、光栅周期、SiN层厚度等参数对耦合效率的影响进行了仿真分析，初步获得了优化的结构参数。