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掩模版传输是高性能光刻机的一个重要组成部分,随着光刻技术的不断发展,对其传递过程的各种要求也不断提高,同时对于实现其功能传输系统结构也得到了深入研究和应用.本文主要描述了该系统的基本构成,并针对目前国际上采用的几种典型结构进行介绍、探讨.
应用于光刻机的掩模版传输结构
【摘 要】
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掩模版传输是高性能光刻机的一个重要组成部分,随着光刻技术的不断发展,对其传递过程的各种要求也不断提高,同时对于实现其功能传输系统结构也得到了深入研究和应用.本文主要
【机 构】
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中国电子科技集团公司第45研究所(北京)
【出 处】
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2003中国电子制造技术论坛会
【发表日期】
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2003年期
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