【摘 要】
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BaTiO3作为一种钙钛矿结构材料,具有铁电性、高介电常数和高电光系数等特性.近年来BaTiO3薄膜由于在非挥发性存储、微电容、电光开关等领域的应用潜力收到了广泛的关注.脉冲
【机 构】
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复旦大学光科学与工程系复旦大学专用集成电路国家重点实验室,上海200433
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BaTiO3作为一种钙钛矿结构材料,具有铁电性、高介电常数和高电光系数等特性.近年来BaTiO3薄膜由于在非挥发性存储、微电容、电光开关等领域的应用潜力收到了广泛的关注.脉冲激光沉积(PLD)方法具有制膜成分计量比与靶材一致、可实现原位退火等优点,是制备BaTiO3薄膜的一种重要手段.由于其有衬底温度、沉积气压、激光频率等众多可优化的参数,在以往报道中往往通过形貌测量、电学测试来分析PLD参数的优化结果.而利用椭圆偏振(SE)光谱等光学方法对PLD制备的BaTiO3薄膜研究,可同时获取其微观结构和光学性质随着生长参数的变化,有助于其生长参数的优化和光学领域的具体运用.
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