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喷射型电感耦合等离子体化学气相沉积法制备的富锗微晶硅锗薄膜在退火过程中的结构演化
【机 构】
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南京大学电子科学与工程学院,江苏南京,210093
【出 处】
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第二十届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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2015年3期
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