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该文提出一种金刚石表面微加工技术，用掺杂的金刚石膜作结构层，多晶硅薄膜作牺牲层，用氧离子束刻蚀金刚石薄膜和氢氧化钾腐蚀多晶硅，制成了梁式和叉子式金刚石薄膜谐振器。文中讨论了工艺上的问题和得到的初步结果。
微机械金刚石薄膜谐振器
【摘 要】
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该文提出一种金刚石表面微加工技术，用掺杂的金刚石膜作结构层，多晶硅薄膜作牺牲层，用氧离子束刻蚀金刚石薄膜和氢氧化钾腐蚀多晶硅，制成了梁式和叉子式金刚石薄膜谐振器。文中讨
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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