【摘 要】
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本文采用VHF-PECVD实现了高速沉积非晶硅电池,在保证材料质量的同时使得沉积速率达到10-20A/s。研究了气体滞留时间对于沉积速率的影响,特别是电极间距和沉积压力二者共同作
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划项目(2006CB202602和2006CB202603);科技部国际合作重点项目(2006DFA62390);国家科技计划配套项目(07QTPTJC29500)的资助
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本文采用VHF-PECVD实现了高速沉积非晶硅电池,在保证材料质量的同时使得沉积速率达到10-20A/s。研究了气体滞留时间对于沉积速率的影响,特别是电极间距和沉积压力二者共同作用下对于沉积速率的影响。把获得的高速本征非晶硅材料应用到pin结构的电池中,在过渡区p层和p-μc-SiC:H分别作为电池窗口层,没有ZnO增反背电极的情况下电池的效率分别达8.65%和8.78%。由于存在结构演变的原因,FF对于过渡区P层厚度的依赖大于后者。最后,把得到的高速非晶硅顶电池应用到非晶/微晶叠层电池中,初步获得的非晶/微晶叠层电池的效率为10.2%。
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