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H<,2>＋Ar电弧等离子体法制备纳米氧化物气敏材料具有粒径小，粒径可控；表面清洁；产量高；表面活性高；表面修饰作用；工艺简单等特点，适宜于气敏材料的工业化生产，也有利于对有关气敏元件的机理进行研究。
纳米氧化物气敏材料的电弧等离子体法制备及特点
【摘 要】
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H＋Ar电弧等离子体法制备纳米氧化物气敏材料具有粒径小，粒径可控；表面清洁；产量高；表面活性高；表面修饰作用；工艺简单等特点，适宜于气敏材料的工业化生产，也有利于对有关气敏元件的机
【机 构】
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化工学院纳米材料研究所
【出 处】
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第十届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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1998年期
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