【摘 要】
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掠入射X射线荧光光谱技术(GrazingIncidenceX-RayFluorescence,简称GI-XRF)是常规X射线荧光光谱分析的一个新的分支,在薄膜、多层膜、表面及晶体表面沾污分析方面有其独特的
【机 构】
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兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000
【出 处】
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全国第六届X射线荧光光谱学术报告会与X射线光谱分析研讨会
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掠入射X射线荧光光谱技术(GrazingIncidenceX-RayFluorescence,简称GI-XRF)是常规X射线荧光光谱分析的一个新的分支,在薄膜、多层膜、表面及晶体表面沾污分析方面有其独特的优势.它既是无损快速的全元素分析,又可以对薄膜材料进行微结构(元素深度分布、厚度、密度、表面界面粗糙度)分析,因此在现代薄膜技术领域正在发挥其重要的作用.本文对此进行了介绍.
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