国内外空分发展现状与展望——庆祝《低温与特气》创刊百期及低温与气体技术交流大会召开

来源 :《低温与特气》百期庆典暨低温与气体技术交流大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:niitliu
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回溯国内外制氧机(空分设备)发展历史,可以归纳为四个字:节能、安全。回顾发展,纵观现状,大家关注的是未来怎么样。空分设备及其气液产品,已渗透到国民经济的各个部门,它已是国民经济的装备行业,氧、氮、氩等空分产品已成为国民经济中作为“动力”的工业气体,不可或缺。为此,笔者根据一些所从事的行业情报工作,作一归纳,与行业同仁进行交流,并请批评斧教。在文中笔者探讨两个方面的内容:1、国内外空分发展现状;2、中国空分设备制造业未来发展趋势的展望。
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乙硼烷在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气已得到越来越广泛的应用,随着大规模集成电路集成度的提高,对乙硼烷纯度的要求也越来越高。因此,本文概述了高纯乙硼烷的制备、提纯工艺、分析方法及性能指标。
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高纯丙烷的精制方法根据原料组成、产量大小、产品纯度及生产条件的不同而异,一般有低温精馏法、低温油吸收法、大型色谱法、化学精制法、络合分离法、吸附法等。具体采用何种分离方法,应根据原料气组成、压力、温度及处理气量等多种因素综合评价选定。下面就低温精馏法、低温油吸收法、大型色谱法、化学吸收与吸附法、变温吸附与吸附-膨胀脱附法以及吸附冷凝法六种分离方法进行了探讨。
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