论文部分内容阅读
利用TEM和PDS显微光度计研究了ECR-PECVD技术制备的Si<,3>N<,4>薄膜的微结构。结果表明：在较低沉积温度下，ECR-PECVD制备的Si<,3>N<,4>薄膜是一种纳米α-Si<,3>N<,4>薄膜,其晶粒粒度在14～29nm间，而且这种薄膜具有较好的表面平整度。
ECR-PECVD制备的Si3N4簿膜的微结构研究
【摘 要】
：
利用TEM和PDS显微光度计研究了ECR-PECVD技术制备的SiN薄膜的微结构。结果表明：在较低沉积温度下，ECR-PECVD制备的SiN薄膜是一种纳米α-SiN薄膜,其晶粒粒度在14～29nm间，而且这种
【机 构】
：
师范大学物理系科学院等离子体物理研究所(合肥)
【出 处】
：
中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会
【发表日期】
：
1998年7期
其他文献
用XRD、TEM、UV-VIS等对sol-gel工艺在钠钙玻璃表面制备的锐钛矿型TiO纳米薄膜进行表征。结果表明；当薄膜的厚度大于0.46μm时,薄膜中出现明显锐钛矿的衍射峰,其衍射峰在(101)
报道了以流变相-先驱物法制备稀土复合氧化物ZnSmO的软化学方法。首先用流变相法合成草酸盐先驱物ZnSm(CO)，然后用DTA和TG研究了先驱物在空气中的热分解过程；用X射线粉末衍射和
用激光测试仪对HNO体系中不同条件(浓度、酸度)溶液的稳定性和水解成核过程进行了研究、并用透射电镜和X-ray衍射仪对水解产物进行了分析，得到了金红石型1～2μm的球型粒子和200
用pH值变化法研究了碳酸钇和碳酸钇和碳酸钇肴的结晶特征，发现肴的加入对碳酸钇的结晶速度有明显影响，确定了片状碳酸钇肴的形成条件及影响因素。证明这种片状结构在由碳酸盐转
用固相反应法制图了组成为LaSrCoFeO和LaSrCoFeO(LSCF6428)的样品，通过直流四端子法测量了LSCF6482样品的总导率，在575～900℃温度范围内总电导红为50～146S/cm，表现出金属导电性质
用高温固相法合成了Ba(TaO):Dy，研究了Dy在Ba(TaO)中的发光性质及Dy浓度对发光强度的影响。
用X射线光电子能谱(XPS)研究了不同热处理工艺条件下用溶胶凝胶法制备的石英玻璃基TiO膜的表面组成。根据XPS数据和S。Tanuma。提出的方法研究了膜厚的尺寸变化。结果表明：随
采用固相反应法合成了BaGdO:Re(Re=Eu,Tb)等离子荧光体，测量了它们的真空紫外光谱，基质吸收于147nm附近，Eu电荷迁移带位移238nm附近，Tb离子的4f-5d吸收位于150～260nm的区域内，相关
利用溶胶-凝胶法合成了BaCeLnO(Ln=Sm,Eu,Gd)固体电解质，X射线粉末衍射表明900℃既形成正交钙钛矿结构，与高温固相反比较合成温度降低了约600℃，测定了样品的阻抗谱，电性及磁性，研