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<正>1.离子源的应用领域离子源的应用十分广泛,原因是粒子被电离后,粒子的动能可控,其化学活性大为提高,从而可利用来实现特定的功能,离子源是产生离子的装置。经常会遇到下面的名词:离子源(ion source)、离子束源、等离子体源(plasma source),在中文文献的名词使用中,它们
离子源在真空镀膜中的应用
【摘 要】
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<正>1.离子源的应用领域离子源的应用十分广泛,原因是粒子被电离后,粒子的动能可控,其化学活性大为提高,从而可利用来实现特定的功能,离子源是产生离子的装置。经常会遇到下
【机 构】
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华南理工大学电子与信息学院;
【发表日期】
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2004年期
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