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蓝宝石单晶是一种用途很广的晶体材料,还是一种很好的GaN蓝光光电器件的衬底材料,本文介绍了单晶生长制备工艺及衬底片的加工工艺.
GaN材料用蓝宝石单晶及衬底片的研究
【摘 要】
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蓝宝石单晶是一种用途很广的晶体材料,还是一种很好的GaN蓝光光电器件的衬底材料,本文介绍了单晶生长制备工艺及衬底片的加工工艺.
【机 构】
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天津市半导体技术研究所
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年期
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