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用Ni(Ac)2·4H2O、CH3OH、稀土硝酸盐、乙酰丙酮作原料,使Ni(Ac)2·2H2O在CH3OH中水解得到稀土掺杂的Ni(OH)2溶胶.通过旋涂法制得稀土掺杂的Ni(OH)2薄膜,在400℃煅烧得到稀土掺杂的NiO薄膜,并用XRD、HRTEM等检测手段表征了膜的结构,同时研究了它的气敏特性,实验结果发现稀土掺杂提高了NiO气敏薄膜元件检测甲醛的灵敏度和选择性,同时降低了检测工作温度.