【摘 要】
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科学研究对于纳米系统需要更灵敏的测量,如自旋电子学、量子计算,纳米磁性材料研究等,随着微米级SQUID(超导量子干涉器件)的出现以及制备工艺的改进,具有高自旋灵敏度的n
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050
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科学研究对于纳米系统需要更灵敏的测量,如自旋电子学、量子计算,纳米磁性材料研究等,随着微米级SQUID(超导量子干涉器件)的出现以及制备工艺的改进,具有高自旋灵敏度的nano-SQUID越来越引起广泛注意.我们的研究首先通过电子束曝光技术在10nm Nb膜上描画出nanoSQUID器件图形,然后通过剥离工艺和反应离子刻蚀技术去除非器件部分Nb膜,从而成功制备了超薄直流nano-SQUID,其环面积为1um2,两个约瑟夫森结大小为80nm×50nm,超导临界转变温度为6.5K,在液氦温度(4.2K)测得其临界电流为70uA,临界电流调制深度可达8％,并且初步开展nanoSQUID在纳米材料磁性表征方面的应用研究.
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