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SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测,本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据.
SMIF/微环境中气滚的数值模拟
【摘 要】
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SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测,本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据.
【机 构】
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同济大学热能工程系
【出 处】
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全国暖通空调制冷2002年学术年会
【发表日期】
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2002年3期
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