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论述了光栅技术在超精密加工和超精测量中应用的可行性，比较了光栅技术和激光干涉技术的优缺点。从光栅技术的发展历史，总结出光栅技术发展的趋势，为进一步提高光栅系统的性能指出了方向。
光栅在超精密加工中的应用兼论光栅技术的发展趋势
【摘 要】
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论述了光栅技术在超精密加工和超精测量中应用的可行性，比较了光栅技术和激光干涉技术的优缺点。从光栅技术的发展历史，总结出光栅技术发展的趋势，为进一步提高光栅系统的性能指
【机 构】
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密加工技术国防科技重点实验室
【出 处】
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中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会
【发表日期】
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1997年期
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