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综述了特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中应用,讨论了不同方法的加工机理以及工艺性能和特点,介绍了一种电蚀加工CVD金刚石膜的新方法.
特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中的应用
【摘 要】
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综述了特种加工技术在CVD金刚石膜光整加工中应用,讨论了不同方法的加工机理以及工艺性能和特点,介绍了一种电蚀加工CVD金刚石膜的新方法.
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院
【出 处】
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2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会
【发表日期】
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2001年期
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