新型氢敏传感器薄膜纳米缝阵列的激光定域诱导成形工艺

来源 :第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016) | 被引量 : 0次 | 上传用户:a5477011266
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氢能源因其清洁高效和可循环的特点,预示了革命性的应用前景.由于氢在空气中可燃临界浓度低,其防泄、防燃和防爆问题显得极其突出,因此有必要建立高灵敏、高可靠性的氢探测方法.基于金属薄膜纳米缝的氢敏传感器具有超高灵敏度、超快响应、测量范围可调控等优点,被认为是理想的氢传感器原理之一。而阵列化纳米缝的精确和高效制造则是这类氢传感器获得工业应用的关键。本项目基于高分子材料的光致膨胀原理,发展一种原创性的氢敏传感器件和制造技术。在高分子材料的光致膨胀规律、薄膜局部应力集中诱导的断裂机理和高分子/钯薄膜体系的氢化伸展特性等方面探索基础理论,实现高灵敏氢传感器的低成本制造。
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