Investigation of the nucleation mechanism and process of GaN layers epitaxial growth on nano-pattern

来源 :第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wwwww1980wwwww

【作者】

：

王帅熊瀚云峰刘浩冯伦刚丁文王江腾李虞锋弓志娜苏喜林张烨

【机构】

：

教育部电子与器件重点实验室,陕西省信息光子技术重点实验室

【出处】

：

第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

epitaxial growth GaN and nucleation mechanism the

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