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采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.同时发现不同的衬底对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同.
纳米锆氧化物薄膜的制备
【摘 要】
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采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.同时发现不同的衬底对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同.
【作 者】
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【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所
【出 处】
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全国第二届纳米材料和技术应用会议
【发表日期】
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2001年10期
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