【摘 要】
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研究发现,纳米结构的减反射薄膜具有良好的减反射性能.为了深入认识此类薄膜结构的性能,本文采用严格耦合波理论(RCWA)计算了几种典型结构的反射率.在仿真计算中,以硅作为衬底,建立的模型包括单层膜、纳米柱(直柱、斜柱)薄膜和金字塔薄膜结构.比较了不同结构的反射率结果,并进行了分析讨论.希望通过这个工作,能够对优化薄膜的设计起到理论指导作用,实现更低的反射率.
【机 构】
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东南大学显示技术研究中心南京 210096
【出 处】
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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研究发现,纳米结构的减反射薄膜具有良好的减反射性能.为了深入认识此类薄膜结构的性能,本文采用严格耦合波理论(RCWA)计算了几种典型结构的反射率.在仿真计算中,以硅作为衬底,建立的模型包括单层膜、纳米柱(直柱、斜柱)薄膜和金字塔薄膜结构.比较了不同结构的反射率结果,并进行了分析讨论.希望通过这个工作,能够对优化薄膜的设计起到理论指导作用,实现更低的反射率.
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