【摘 要】
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随著晶元元件之尺寸朝向微小化,使得晶元生产作业对环境微振动的要求亦趋为严苛。高科技厂房为了管线配置一般使用高架地板,而高架地板通常会使楼版的振动放大数倍。本研究将
【机 构】
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中华大学土木工程学系; 中华大学土木与资讯工程学系;
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随著晶元元件之尺寸朝向微小化,使得晶元生产作业对环境微振动的要求亦趋为严苛。高科技厂房为了管线配置一般使用高架地板,而高架地板通常会使楼版的振动放大数倍。本研究将科技厂房中常见的背景振动现象,如搬运设备的行走、机械设备的马达转动、空调设备的运转及人员的走动等,以现场量测结果利用EEMD技术进行讯号分离,建立各振动源的讯号特性,再以MATLAB讯号处理程序,利用白噪讯号进行人工合成讯号的模拟生成,并与实测讯号比对。最后将人工合成讯号当背景振动讯号,作为SAP2000结构分析软体的历时轮入资料,进行基座振动特性的探讨,并与实测值进行比较分析。研究结果显示,利用EEMD技术,能将讯号中的主要频率有效的拆解,而且利用周期波理论能有效的模凝实测结果。利用白噪讯号产生之人工合成讯号能有效的模拟现地背景讯号特性,可取代现场实测讯号以进行基座之历时分析。因此在未来只要建立足够的各类活动讯号特性资料库,则在规划设计阶段就可充分掌握各个基座可符合的微振动规格值。
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