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文中叙述了临界角度传感器的基本原理、性能特点,并给出了角度传感器的校正方法.结合该传感器在原子力显微镜中的实际应用所表现出来的特性,分析了其在纳米测试技术中的应用前景.
角度传感器及其在纳米测试技术中的应用
【摘 要】
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文中叙述了临界角度传感器的基本原理、性能特点,并给出了角度传感器的校正方法.结合该传感器在原子力显微镜中的实际应用所表现出来的特性,分析了其在纳米测试技术中的应用
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)日本东北大学工学部(日本)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年10期
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