论文部分内容阅读
本文采用微波等离子体化学气相沉积设备，在陶瓷/金属钼膜 衬底上沉积出了较大面积(4cm2)并具有复杂表面结构的类毛虫形状纳米级碳薄膜，分别用扫描电子显微镜(SEM)，金相显微镜和X射线衍射谱(XRD)及Raman谱对样品进行了结构分析测试。进一步的场致发射测试结果显示：此种类毛虫形状纳米级碳薄膜具有场发射大面积大(>4cm2)、发射点密度高且发射均匀的特征，其场电子发射阈值电场较低(<1.5v/μm)，并在外加电场5.7V/μm的条件下得到了2.2mA/m2的较高的场发射电流密度。