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纳米压痕和纳米划痕以及原位成象技术是一项较新发展起来的材料力学性能表征技术，它在表面工程和表面改性、纳米材料和纳米器件、微力学器件(MEMS device)，半导体工业以及各种喷漆、镀层等领域正得到越来越广泛的应用。针对相关的测量原理及其应用进行了介绍。
纳米力学测试系统的原理及其应用
【摘 要】
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纳米压痕和纳米划痕以及原位成象技术是一项较新发展起来的材料力学性能表征技术，它在表面工程和表面改性、纳米材料和纳米器件、微力学器件(MEMS device)，半导体工业以及各种
【机 构】
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MTS系统(中国公司
【出 处】
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第二届中国西安纳米科技研讨会
【发表日期】
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2003年11期
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