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用快速傅立叶变换法(FFT)和磁镜像法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了微磁学分析.根据模拟结果,对射频集成电感器的结构参数和加工参数进行了优化.这种模拟方法同样适用于永磁执行器的受力分析和电磁型微马达的优化分析.
薄膜平面射频集成电感器的FFT模拟
【摘 要】
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用快速傅立叶变换法(FFT)和磁镜像法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了微磁学分析.根据模拟结果,对射频集成电感器的结构参数和加工参数进行了优化.这种模拟方法同样适用于永磁执行器的受力分析和电磁型微马达的优化分析.
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细加工教育部重点实验室(上海)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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