半导体生产对石英制品的要求

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【摘要】

：

半导体生产中,石英材料有着广泛的运用,基本上除了光刻(LITHOGRA-PHY)工序以外,其它所有工序从生产辅助部件到用于实际硅片加工的工具都或多或少的使用着石英制品。如何生产

【作者】

：

李剑锋孙涛

【机构】

：

首钢日电电子有限公司;

【发表日期】

：

2006年期

【关键词】

：

C-V(电容-电压)=Capacitance-Voltage SPV(表面光电压)=Surface Photo Voltage

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半导体生产中,石英材料有着广泛的运用,基本上除了光刻(LITHOGRA-PHY)工序以外,其它所有工序从生产辅助部件到用于实际硅片加工的工具都或多或少的使用着石英制品。如何生产出满足半导体生产需要的石英制品是各个石英生产厂商都必需面临的课题。本文简单叙述了关于半导体生产对石英制品的一些基本要求.

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