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本文采用溶胶-凝胶技术将杂多硅氧烷类物质固定在电容器上,测定了在不同二氧化硫浓度时,梳状电极电容器电容的变化,并探讨了有关的机理.
杂多硅氧烷薄膜SO<,2>气体传感器
【摘 要】
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本文采用溶胶-凝胶技术将杂多硅氧烷类物质固定在电容器上,测定了在不同二氧化硫浓度时,梳状电极电容器电容的变化,并探讨了有关的机理.
【机 构】
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北京工业大学环境与能源工程学院(北京)
【出 处】
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第八届全国化学传感器学术交流会
【发表日期】
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2001年期
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