【摘 要】
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晶硅基底的反射系数较高,使得入射光的反射率达到40%,严重影响了单晶硅基底的光学及光电学器件的性能,例如太阳能电池、显示器、光学传感器等[1-4]。为了提高这些器件的性能,需要降低单晶硅基底表面反射光的损失。
【机 构】
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哈尔滨工业大学;吉林大学 哈尔滨工业大学
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
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晶硅基底的反射系数较高,使得入射光的反射率达到40%,严重影响了单晶硅基底的光学及光电学器件的性能,例如太阳能电池、显示器、光学传感器等[1-4]。为了提高这些器件的性能,需要降低单晶硅基底表面反射光的损失。
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